回火爐用于難熔金屬材料的燒結，金屬釬焊及電工材料退火，工具鋼、模具鋼、結構鋼、不銹鋼等的熱處理和金屬鍍膜。真空熱處理后的工件，外表不氧化脫碳、變形小、力學性能好。爐型分類

1.罐式真空回火爐

真空罐置于爐膛內，進料口及真空體系接口置于爐外，進料口帶有密封爐蓋。工件裝入罐內，當罐內抽成真空后再對工件進行加熱，此爐型適于小批量工件熱處理用。

2.室式回火爐

室式回火爐由電熱元件、隔熱屏、進出料組織、密封隔熱閥、爐門、水冷爐殼、真空體系、溫控體系等組成，有單室、雙室和多室之分。

3.立式回火爐

基本結構由圓筒形爐膛、電熱元件、隔熱屏、真空隔熱密封爐門、真空體系及溫控體系等組成。根據不同工藝需求增設各種隸屬裝置后，則構成立式真空油淬爐，氣淬爐和立式真空聯合電爐等。

4.接連式回火爐

工件接連或斷續入爐，加熱室內始終有工件在加熱，爐子生產率高。